Для корректной работы этого сайта необходима поддержка JavaScript и "cookies" Вашим браузером. Подробнее

МЫ ПРИНИМАЕМ ЗАКАЗЫ ПО ТЕЛЕФОНАМ +7 (495) 374-94-88, 8(800) 775-80-36 (бесплатно для регионов) С 10:00 ДО 19:00
Здравствуйте, Гость! (Войти в систему)

Ваша корзина

В корзине 0 товаров на сумму
0 руб


Отложено: 0 товаров

Ваша корзина пуста.

Нажмите кнопку "В корзину" на интересующих вас товарах.

Лучшие книги недели

Древняя Русь в свете зарубежных источников - Джаксон Т.Н. - купить  книгу с доставкой

Древняя Русь в свете зарубежных источников

Джаксон Т.Н., Бибиков М.В
532 руб
Мир-система Модерна. Том 1. Капиталистическое сельское хозяйство и истоки европейского мира-экономики в XVI веке - Иммануэль Валлерстайн - купить  книгу с доставкой

Мир-система Модерна. Том 1

Иммануэль Валлерстайн
675 руб
Евреи, конфуцианцы и протестанты. Культурный капитал и конец мультикультурализма - Лоуренс Харрисон - купить  книгу с доставкой

Евреи, конфуцианцы и протестанты

Лоуренс Харрисон
388 руб
Феномены мозга - Бехтерев В. М. - купить  книгу с доставкой

Феномены мозга

Бехтерев В. М.
415 руб

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. В 2 томах. Том 2. Технологические аспекты. Учебное пособие для вузов

Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. В 2 томах. Том 2. Технологические аспекты. Учебное пособие для вузов - Акуленок М.В. - купить  книгу с доставкой
Бином. Лаборатория знаний, твердый переплет, 2014

Код товара: 1162684

ISBN: 978-5-9963-0336-6, 978-5-9963-0341-0

Тип переплета: твердый переплет

Формат книги: 60x90/16 (145x215 мм)

Количество страниц: 252

Временно отсутствует
Чтобы оставить заявку, введите свой e-mail
0
Аннотация к книге "Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. В 2 томах. Том 2. Технологические аспекты. Учебное пособие для вузов":
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающеюся интегральных микро- и нанотехнологий; при пом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологии микро-и наноэдектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химичеекосо и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.
Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и нанозлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.

Серия Нанотехнологии

Наноматериалы. Учебное пособие

Рыжонков Д.И., Дзидзигури Э.Л., Левина В.В.
259 руб

Нелинейные явления в нано- и микрогетерогенных системах

Ситников А.В., Гриднев С.А., Калинин Ю.Е., Стогней О.В.
438 руб