Для корректной работы этого сайта необходима поддержка JavaScript и "cookies" Вашим браузером. Подробнее

МЫ ПРИНИМАЕМ ЗАКАЗЫ ПО ТЕЛЕФОНАМ +7 (495) 374-94-88, 8(800) 775-80-36 (бесплатно для регионов) С 10:00 ДО 19:00
Здравствуйте, Гость! (Войти в систему)

Ваша корзина

В корзине 0 товаров на сумму
0 руб


Отложено: 0 товаров

Ваша корзина пуста.

Нажмите кнопку "В корзину" на интересующих вас товарах.

Лучшие книги недели

Древняя Русь в свете зарубежных источников - Джаксон Т.Н. - купить  книгу с доставкой

Древняя Русь в свете зарубежных источников

Джаксон Т.Н., Бибиков М.В
532 руб
Мир-система Модерна. Том 1. Капиталистическое сельское хозяйство и истоки европейского мира-экономики в XVI веке - Иммануэль Валлерстайн - купить  книгу с доставкой

Мир-система Модерна. Том 1

Иммануэль Валлерстайн
675 руб
Евреи, конфуцианцы и протестанты. Культурный капитал и конец мультикультурализма - Лоуренс Харрисон - купить  книгу с доставкой

Евреи, конфуцианцы и протестанты

Лоуренс Харрисон
388 руб
Феномены мозга - Бехтерев В. М. - купить  книгу с доставкой

Феномены мозга

Бехтерев В. М.
415 руб

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Берлин Е.В., Сейдман Л.А.

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением - Берлин Е.В. - купить  книгу с доставкой
Техносфера, твердый переплет, 2014

Код товара: 1026196

ISBN: 978-5-94836-369-1

Тип переплета: твердый переплет

Тираж книги: 750

Формат книги: 70x100/16

Количество страниц: 256

Временно отсутствует
Чтобы оставить заявку, введите свой e-mail
0
Аннотация к книге "Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением":
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.
Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.
Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава.
Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.
Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.